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产品概述
产品特点
JEL SWCR3160CS晶圆机械手臂特点：
防水3轴圆柱坐标型机械手臂SWCR3000系列（配备300mm晶圆翻转机构+边缘夹持机构）；
在保护等级IP64 LSI半导体生产工艺条件下，能够在酸性，碱性环境下搬运半导体晶圆；
手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性；
手臂关节部位防水结构使用V型密封圈；
零件之间的结合面采用Viton材质的密封条；
Z轴的防水结构可以使用蛇腹管；
配备动作监视器：
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式；
全轴采用2相步进电机；
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆；
晶圆固定方式: 真空吸附式，下托式，边缘夹持式；
可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供手指。
产品规格
| 使用环境 | 洁净间内的大气环境 |
| 手臂 | 单臂 |
| 到达距离 | 312mm (手臂第3关节中心到达距离) |
| 升降轴最大行程 | 200mm / 300mm |
| 可搬运质量 | 3kg以下 (手臂第3关节处基准) |
| 产品型号 | 升降轴最大行程 |
| SWCR3160CS-200-PM | 200mm |
| SWCR3160CS-300-PM | 300mm |
产品优势
应用领域
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HAPOIN ENTERPISE LIMITED
地址：Unit 917A, 9/F.,Tower A,New Mandarin Plaza,No.14 Science Museum R
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