上海衡鹏企业发展有限公司

4轴圆柱坐标洁净机械手臂

JEL

STCR4160SN


4轴圆柱坐标洁净机械手臂
+
  • 4轴圆柱坐标洁净机械手臂

产品视频

产品概述

产品特点

JEL STCR4160SN晶圆机械手臂特点:

对闭坏控制方式机械手臂加上疑似多轴规格;

没有水平移动轴也能够搬运到并立配置的开闭安全门台,由于布局设计运用自如,降低成本;

适用于超级洁净间要求的4轴圆柱坐标洁净机械手臂;

在保持高性价比和高速传输特性的基础上,解决了步进电机常见的丢步问题;

适用于2寸-300mm晶圆传输的新型双臂机械手臂;

采用即使在负载发生突变或者加减速过大的情况也能够避免电机丢步现象的闭环控制方式;

有效地提高了机械手臂的可靠性;

电机配备绝对值编码器,机械手臂能够在任何情况下知道自己的当前位置;

缩短了机械手臂各动作轴寻找自身位置原点的时间;

绝对值编码器为机械式,不需要更换电池;

可以和旧型号的本司产品兼容(安装尺寸,性能互换),方便客户对现有设备的升级改造;

高强度手臂・手臂第3关节处可承受3kg力(包含腕部机构模块,手指,晶圆的质量);

机械手臂标准臂长:100mm, 130mm, 160mm, 200mm;

可根据设备布局选择基座固定方式,或法兰固定方式;

可选伯努利方式手指(Option)。

产品规格

使用环境洁净间内的大气环境
手臂双臂
到达距离315mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴最大行程200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm
可搬运质量3kg (手臂第3关节处基准)
产品型号 升降轴最大行程
STCR4160SN-200-CM200mm
STCR4160SN-300-CM 300mm
STCR4160SN-400-CM400mm
STCR4160SN-450-CM500mm
STCR4160SN-500-CM600mm

产品优势

应用领域

推荐产品

常见问题

11

< 1 >

在线留言

如果您对我们的产品感兴趣,请留下您的电子邮件,免费得到产品报价,谢谢!

提交留言