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产品概述
产品特点
JEL GCR4210晶圆机械手臂特点：
超洁净间用多轴型, 4轴水平多关节型清洁机械手GCR4000-AM系列；
适用于支持300mm的半导体制造装置内, 检查装置等的晶圆搬运；
机械手臂标准臂长:210mm, 280mm；
机械手臂可以单独对应2个FOUP；
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式；
配备动作监视器；
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式；
全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机；
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板；
AC伺服电机的采用以及，对运动轨迹的优化实现了搬运动作的高速化；
比GHR4000类型速度快了1.8倍；
晶圆固定方式：真空吸附式, 下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式；
手指材质：CFRP（碳纤维), 铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质；
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供手指。
产品规格
| 使用环境 | 洁净间内的大气环境 |
| 手臂 | 单臂 |
| 到达距离 | 400mm (手臂第3关节中心到达距离) |
| 升降轴最大行程 | 300mm / 400mm / 500mm |
| 可搬运质量 | 4kg (手臂第3关节处基准) |
| 产品型号 | 升降轴最大行程 |
| GCR4210-300-AM | 300mm |
| GCR4210-320-AM | 320mm |
| GCR4210-500-AM | 500mm |
产品优势
应用领域
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HAPOIN ENTERPISE LIMITED
地址：Unit 917A, 9/F.,Tower A,New Mandarin Plaza,No.14 Science Museum R
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