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半自动晶圆切割贴膜机 Wafer Mounter

SINTAIKE

STK-7020


半自动晶圆切割贴膜机 Wafer Mounter
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产品概述

产品特点

半自动晶圆贴膜机STK-7020 贴切晶圆割贴膜的特点:

桌面式半自动型,自动拉膜,自动贴膜;

适用于4”- 8”晶圆(硅片、碳化硅、砷化镓、氮化镓,蓝宝石,玻璃等材质)贴覆蓝膜、UV膜;

操作简便,UPH高;

半自动晶圆贴膜机STK-7020 贴切晶圆割贴膜的性能;

晶圆收益:

≥99.9%;

贴膜质量:

没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡);

每小时产能:

≥ 80片晶圆;

MTBF:

>168小时;

MTTR:

<1小时;

停机时间:

<3%;

更换产品时间:

≤ 5分钟。

 

产品规格

STK-7020 半自动晶圆切割贴膜机规格参数:

晶圆尺寸:

4”- 8”晶圆;

晶圆厚度:

100 ~750微米;

晶圆种类:

硅, 砷化镓或其它材料;

膜种类:

蓝膜或者UV膜(粘着力≤8N/20mm);

宽度:210~300毫米;

长度:100米;

厚度:0.05~0.2毫米;

晶圆承载环:

6”、8”DISCO标准;

贴膜原理:

防静电滚轮贴膜,滚轮压力可调;

贴膜动作:

自动拉膜和贴膜;

晶圆台盘:

通用(一体式)特氟龙防静电涂层接触式台盘;

台盘可加热:室温~100℃;

台盘手动升降;

装卸方式:

晶圆/承载环手动放置与取出;

防静电控制:

防静电特龙隆涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子风扇;

切割系统:

手动圆切刀和直切刀;

定位方式:

晶圆气动销定位/承载环弹簧销定位;

控制单元:

基于PLC 控制,带7”触摸屏;

安全防护:

配置紧急停机按钮;

电源电压:

单相交流电220V,10A;

压缩空气:

5公斤清洁干燥压缩空气,流量100升/分钟;

机器外壳:

白色喷塑金属外壳;

体积:

670毫米(宽)*1180毫米(深)*1000毫米(含灯高);

净重:

140公斤。

 

产品优势

应用领域

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常见问题

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