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产品概述
产品特点
晶圆贴膜机 STK-7150 落地式高级半自动切割贴膜机特点:
落地式,适用8-12寸硅晶圆,碳化硅,砷化镓,蓝宝石,玻璃等材质;
自动切割刀,自动切割膜,自动收废膜;
自动拉膜,自动贴膜,可贴空环/Frame;
晶圆贴膜机 STK-7150 落地式高级半自动切割贴膜机性能:
晶圆收益:
≥99.9%;
撕膜质量:
没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡);
每小时产能:
≥ 70片晶圆;
MTBF:
>168小时;
MTTR:
<1小时;
停机时间:
<3%;
更换产品时间:
≤ 10分钟。
产品规格
晶圆贴膜机 STK-7150 落地式高级半自动切割贴膜机规格参数:
晶圆直径:
8”、12”晶圆;
晶圆厚度:
100 ~750微米;
晶圆种类:
硅, 砷化镓或其它材料;
膜种类:
蓝膜或者UV膜(粘着力≤8N/20mm);
宽度:300~400毫米;
长度:100米;
厚度:0.05~0.2毫米;
晶圆承载环:
8”、12”DISCO标准;
贴膜原理:
防静电滚轮贴膜,滚轮压力可调;
晶圆台盘:
通用(一体式)特氟隆防静电涂层接触式台盘;
台盘可加热:室温~100℃;
台盘手动升降;
装卸方式:
晶圆/承载环手动放置与取出;
防静电控制:
防静电特氟隆涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子风扇;
切割系统:
环型切刀用于8”、12”DISCO承载环;
废膜处理:
自动收取;
贴膜精度:
X-Y:±0.5mm;θ:±0.5°;
定位方式:
晶圆气动销定位/承载环弹簧销定位;
控制单元:
基于PLC 控制,带10.1”触摸屏;
安全防护:
配置光帘保护和紧急停机按钮;
电源电压:
单相交流电220V,16A;
压缩空气:
5公斤清洁干燥压缩空气,流量100升/分钟;
机器外壳:
白色喷塑金属外壳;
体积:
850 毫米(宽)*1450 毫米(深)*1700 毫米(不含灯高);
净重:
485公斤。
产品优势
应用领域
OUTLETS
服务网点

香港公司
HAPOIN ENTERPISE LIMITED
地址:Unit 917A, 9/F.,Tower A,New Mandarin Plaza,No.14 Science Museum R
电子邮箱
总部地址
上海市闵行区金都路1165弄南方都市园6号楼

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