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产品概述
产品特点
STK-7080半自动晶圆真空贴膜机特点：
无滚轮真空贴膜：
自动胶膜进给；
自动真空贴膜；
自动切割、收废膜、收隔离纸；
配置光幕保护功能，和紧急停机按钮；
STK-7080半自动晶圆真空贴膜机性能：
晶圆收益：
≥99.9%；
贴膜质量：
没有气泡（不包括灰尘颗粒气泡）；
每小时产能：
≥60片晶圆；
MTBF：
>500小时；
MTTR：
<1小时；
停机时间：
<3%。
产品规格
STK-7080半自动晶圆真空贴膜机规格参数：
晶圆直径：
4” ~ 8”；
晶圆厚度：
100~750微米；
晶圆种类：
硅、碳化硅、砷化镓；
膜种类：
蓝膜或者UV膜；
宽度：230-300毫米；
长度：100米；
厚度：0.05~0.2毫米；
晶圆承载环：
6”、8”DISCO；
装卸方式：
手动晶圆/承载环放置与取出；
贴膜定位精度：
±0.5mm；标准6”、8”晶圆台盘用于6”、8”晶圆；
真空泵：
ULVAC爱发科；
防静电控制：
去离子风扇；
控制单元：
基于PLC 控制，带10”触摸屏；
安全防护：
配置光幕保护和紧急停机按钮；
电源电压：
单相交流电220V,16A；
压缩空气：
0.45~0.6MPa,流量70L/min；
机器外壳：
白色喷塑金属外壳；
真空供应：
高真空供应装置，用于给真空腔提供真空；
体积：
950毫米(宽)*1300毫米(深)*1800毫米(高)；
净重：
480公斤。
产品优势
应用领域
OUTLETS
服务网点
香港分公司
HAPOIN ENTERPISE LIMITED
地址：Unit 917A, 9/F.,Tower A,New Mandarin Plaza,No.14 Science Museum R
电子邮箱
总部地址
上海市闵行区金都路1165弄南方都市园6号楼
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