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产品概述
STK-6120 半自动晶圆减薄前贴膜机特点:
桌上型:
适用于8”&12”晶圆;
操作简便;
STK-6120 半自动晶圆减薄前贴膜机性能:
晶圆收益:
≥99.9%;
撕膜质量:
没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡);
每小时产能:
≥ 75片晶圆;
MTBF:
>168小时;
MTTR:
<1小时;
停机时间:
<3%;
更换产品时间:
≤ 5分钟.
产品特点
产品规格
STK-6120 半自动晶圆减薄前贴膜机规格参数:
晶圆尺寸:
8”& 12”晶圆;
常规产品厚度:
300 ~750微米;
晶圆种类:
硅, 砷化镓或其它材料;
胶膜种类:
蓝膜或者UV膜(粘着力≤8N/20mm);
宽度:240~340毫米;
长度:100米;
厚度:0.05~0.2毫米;
贴膜原理:
防静电滚轮贴膜,滚轮压力可调;
贴膜动作:
自动拉膜和贴膜;
晶圆台盘:
通用(一体式)特氟龙防静电涂层接触式台盘;
台盘可加热:室温~100℃;
台盘手动升降;
装卸方式:
晶圆手动放置与取出;
防静电控制:
防静电特氟隆涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子风扇;
切割系统:
直切刀和环切刀,8"、12"无切割V notch功能,切割刀可加热:室温~120℃;
晶圆定位;
气动销定位;
控制单元;
基于PLC 控制,并带7"触摸屏;
安全防护:
配置紧急停机按钮;
电源电压:
相交流电220V,10A;
压缩空气:
5公斤清洁干燥压缩空气,流量100升/分钟;
机器外壳:
白色喷塑金属外壳;
体积:
670毫米(宽)*1180毫米(深)*1000毫米(含灯高);
净重:
140公斤。
产品优势
应用领域
OUTLETS
服务网点

香港公司
HAPOIN ENTERPISE LIMITED
地址:Unit 917A, 9/F.,Tower A,New Mandarin Plaza,No.14 Science Museum R
电子邮箱
总部地址
上海市闵行区金都路1165弄南方都市园6号楼

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