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产品概述
产品特点
STK-5020 半自动晶圆减薄后撕膜机特点:
桌上型:
适用于4”- 8”晶圆;
操作简便;
STK-5020 半自动晶圆减薄后撕膜机性能:
晶圆收益:
≥99.9%;
撕膜质量:
无裂片;
每小时产能:
≥ 80片晶圆;
MTBF:
>168小时;
MTTR:
<1小时;
停机时间:
<3%;
更换产品时间:
≤ 5分钟。
产品规格
STK-5020 半自动晶圆减薄后撕膜机规格参数:
晶圆尺寸:
4”- 8”晶圆;
晶圆厚度:
150 ~750微米;
晶圆种类:
硅, 砷化镓或其它材料;
撕胶膜种类;
撕膜胶带:
宽度:38~100毫米;
长度:100米;
撕膜角度:
<45度,并且在 5°~45°可调节;
晶圆台盘:
通用(一体式)特氟龙防静电涂层接触式台盘;
台盘可加热:室温~100℃;
装卸方式:
晶圆手动放置与取出;
防静电控制:
特氟龙防静电涂层接触式台盘;除静电离子风扇;
晶圆定位:
气动销定位;
控制单元:
基于PLC 控制,并配有7”触摸屏;
驱动单元:
伺服马达驱动;
安全保护;
配置紧急停机按钮;
电源电压:
单相交流电220V,10A;
压缩空气:
5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟100升/分钟;
机器外壳:
白色喷塑金属外壳;
体积:
670毫米(宽)*1180毫米(深)*1000毫米(含灯高);
净重:
125公斤。
产品优势
应用领域
OUTLETS
服务网点

香港公司
HAPOIN ENTERPISE LIMITED
地址:Unit 917A, 9/F.,Tower A,New Mandarin Plaza,No.14 Science Museum R
电子邮箱
总部地址
上海市闵行区金都路1165弄南方都市园6号楼

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