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产品概述
产品特点
STK-5150高级半自动晶圆撕膜机特点：
适用于8” &12”晶圆；
操作简便；
STK-5150高级半自动晶圆撕膜机性能：
晶圆收益；
≥99.9%；
撕膜质量；
无裂片；
每小时产能；
≥ 80片晶圆；
更换产品时间；
≤ 5分钟。
产品规格
STK-5150高级半自动晶圆撕膜机规格参数：
晶圆尺寸：
8” &12”晶圆；
厚度：
150 ~750微米
晶圆种类：
硅、砷化镓；平边或V型缺口晶圆；
撕胶膜种类：
撕膜胶带；
宽度：100~150毫米；
长度：100米；
撕膜角度：
<45度，并且在 5°~45°可调节；
撕膜温度：
室温到100 ℃范围可调，控温精度+/-3℃；
晶圆台盘：
通用防静电特氟隆涂层接触式金属台盘；
带可控加热功能，温度最高可达100℃；
台盘带吸真空功能：
装卸方式；
晶圆手动放置与取出：
防静电控制；
离子风扇；
晶圆定位；
弹簧销钉定位；
控制单元；
基于PLC 控制，并配有5.7”触摸屏：
驱动单元；
伺服马达驱动；
安全保护；
配置紧急停机按钮：
电源电压；
单相交流电220V，10A；
压缩空气；
5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟80升/分钟；
机器外壳；
白色喷塑金属外壳；
机器指示：
三色灯塔显示机台工作状态；
体积：
950毫米(宽)x1500毫米(深)x1800毫米(含灯塔高)；
净重；
300公斤。
产品优势
应用领域
OUTLETS
服务网点
香港公司
HAPOIN ENTERPISE LIMITED
地址：Unit 917A, 9/F.,Tower A,New Mandarin Plaza,No.14 Science Museum R
电子邮箱
总部地址
上海市闵行区金都路1165弄南方都市园6号楼
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