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产品概述
产品特点
复合PLD设备PLD-M特点简介：
基于非常丰富销售经验设计，可实现稳定运行；
可以组合其他溅射源和沉积源；
可高达φ2英寸的大直径基板，通过采用φ2英寸的专用灯源，可以在广泛的压力范围内进行实验；
可以选配合择多种选项，通过安装在大面积PLD上的分布，为最大φ2英寸的电路板提供均匀分布的选项。
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