上海衡鹏企业发展有限公司

分子束蒸发源

MITO DENKO

SOURCE-1250


分子束蒸发源
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产品概述

产品特点

分子束蒸发源SOURCE-1250特点简介:

分子束蒸发源,用于在超高真空中制备MBE生长的薄膜;

开放式蒸发源,它的设计是为了尽量减少分子束 辐射时的气体排放;

安装法兰盘:ICF070・114等;

温度控制:通过PID控制Max1250。

产品规格

分子束蒸发源SOURCE-1250规格:

(1) 坩埚容量:约10cc(唇边约15mm x 57mm);

(2) 坩埚材料PBN;

(3) 加热器 高纯度Ta线盘绕;

(4) 侧面反射器 5层 高纯度Ta;

(5) 加热元件支撑底座 高纯度Mo;

(6) 热电偶Pr13;

(7) 加热元件的外部形状为φ35X50mm;

(8) 工作温度范围300°C至1250°C;

(9) 百叶窗的开/关由微型法兰盘旋转导入机完成(标准手动:空气驱动是可选的);

(10) 安装法兰114CF (4.5 "CF);

(11) 加热电源 1KW直流电源,有电流和电压限制;

(12) 温度控制器:PID控制方式RT~1800°C,控制精度0.1°C最大;

(13) 最高烘烤温度:250°C(拆除电缆和空气驱动装置后)。

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应用领域

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