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微孔陶瓷真空吸盘/载盘

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微孔陶瓷真空吸盘/载盘


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产品概述

产品特点

HAPOIN 微孔陶瓷真空吸盘/载盘概述:

应用场景:

在半导体行业里,晶圆减薄、整型、切片、研磨、清洗等过程中,安置并固定的工作台【固定夹具】;

通过高温烧结在材料内部生成大量彼此连体或闭合的均匀实心或者真空体陶瓷,来通过真空吸力将半导体片等工作物固定住;

材料:

工作台面:是氧化铝陶瓷,内部形成中空结构,通过向多孔基体施加负压力来吸附、固定被吸附物;

底座及边框:可选材质:铝合金、不锈钢、陶瓷等;

优点:

1、高硬度2、散热快3、耐磨损4、耐酸碱、抗腐蚀能力强,能适应极度恶劣;

产品的基础参数:

微孔陶瓷真空吸盘的平面度、平行度高,微孔分布均匀,透气性好,吸附力均匀,光滑细腻;

加工对象:2、3、4、5、6、8、12 英寸及非标定制晶片等;

尺寸范围:85mm-8800mm,微孔尺寸:20-60um,气孔率:30-50%;

可根据客户需求设计和定制各种非标吸盘。

 

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