产品视频
产品概述
产品特点
JEL SVCR3260晶圆机械手臂特点：
真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系。适用于真空腔室内的晶圆搬运；
相比SVHR系列机械手臂，可搬运质量提升2倍，具有较好的性价比优势；
另外还保持了和SVHR系列机械手臂的兼容性，方便客户对设备进行升级改造；
机械手臂标准臂长:160mm, 190mm, 260mm, 330mm；
手臂关节处使用磁流体密封装置；
真空密封：磁流体密封装置和波纹管；
提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器；
配备动作监视器：
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式；
全轴采用2相步进电机：
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆；
可以选配2相步进电机规格：
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质；
晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式；
可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供手指。
产品规格
| 使用环境 | 真空部：温度 15℃～50℃ 驱动结构内部：洁净间内的大气环境 温度 15℃～40℃ |
| 手臂 | 单臂 |
| 到达距离 | 520mm (手臂第3关节中心到达距离) |
| 升降轴最大行程 | 20mm / 40mm |
| 可搬运质量 | 2kg (手臂第3关节处基准) |
| 产品型号 | 升降轴最大行程 |
| SVCR3260-020-PM | 20mm |
| SVCR3260-040-PM | 40mm |
产品优势
应用领域
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HAPOIN ENTERPISE LIMITED
地址：Unit 917A, 9/F.,Tower A,New Mandarin Plaza,No.14 Science Museum R
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