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全自动晶圆倒片机 晶圆传片机

STK

STK-3200


全自动晶圆倒片机 晶圆传片机
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产品概述

产品特点

可用于传输150mm/200mm 晶圆:
适用于6寸、8寸晶圆;
满足ISO Class1洁净等级;
模块化设计,维护成本低;
设备结构紧凑,占地面积小;
设备符合SEMLS2及SEMLF47标;
可根据客户需求定制开发FA;
可选配Vacuum、Passive、Gripper、Bernouli 机械手EE;
高度定制化,可根据客户需求非标定制。

产品规格

产品优势

应用领域

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