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产品概述
产品特点
12”标准机型，可兼容8”产品（通过Adapter）：
采用双臂拟似多轴功能机械手；
材料符合RoHS规范，洁净度最高可达ISO Class 3；
多种传感器等监测元件，实时检测设备状态；
即时摄像监控，各种条码、二维码、字符码识别，完整追踪生产过程；
提供客制化晶圆搬送需求。
产品规格
产品优势
应用领域
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