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产品概述
产品特点
EMR100专用于半导体电迁移可靠性评价。主要特点：
DHS直接加热：仅对芯片局部加热至350℃，避免损伤插座及连接器，温变响应快。
高密度并行测量：自研SMU板卡，单机架支持120通道同时测试，满足大样本统计需求，且成本远低于市售方案。
TCR自动补偿：内置温度系数修正模式，消除电阻随温度变化的影响，确保结果纯粹反映电迁移效应。
灵活配置：提供多档电流（2mA~500mA）和电压（30V~100V）板卡，适配铝、铜等不同互连材料。配合20ms/通道快速扫描与直观软件界面，助力高效评价芯片长期可靠性。
产品规格
NO | 名称 | 通道数 | 测量周期 | 测量电压 | 施加电流范围 |
1 | 500mA/30V板卡 | 8 | 20msec/ch | 0~30V | 500mA/50mA/5mA |
2 | 50mA/100V板卡 | 8 | 20msec/ch | 0~100V | 500mA/50mA/5mA |
3 | 200mA/50V板卡 | 8 | 20msec/ch | 0~50V | 200mA/20mA/2mA |
产品优势
应用领域
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