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产品概述
产品特点
STK-6150 落地式高级自动晶圆减薄贴膜机特点：
专利设计的柔性滚轮贴膜
弹簧刀系统
适用于8” - 12”晶圆
STK-6150 落地式高级自动晶圆减薄贴膜机性能：
晶圆收益
≥99.9%
贴膜品质
没有气泡（不包括灰尘颗粒气泡）
每小时产能
≥ 75片晶圆
MTBF
>168小时
MTTR
<1小时
停机时间
<3%
更换产品时间：
≤ 10 分钟
产品规格
STK-6150 落地式高级自动晶圆减薄贴膜机 规格参数：
晶圆尺寸
8”-12”晶圆
晶圆厚度
300～750微米
晶圆种类
硅, 砷化镓或其它材料
胶膜种类
蓝膜或者UV膜（粘着力≤8N/20mm）
宽度：240~340毫米
长度：100米
厚度：0.05~0.2毫米
贴膜原理
防静电滚轮贴膜，滚轮压力可调
晶圆台盘
通用(一体式)特氟龙防静电涂层接触式台盘
台盘可加热：室温~100℃
台盘手动升降
装卸方式
晶圆手动放置与取出
防静电控制
防静电特氟龙涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子风扇
切割系统
自动切割刀,8”&12”无切割V notch功能，切割刀可加热：室温~120℃
切割刀寿命管理
废膜处理
自动收取
贴膜精度
X-Y:±0.5mm；θ:±0.5°
晶圆定位
气动销定位
控制单元
基于 PLC 控制，10.1”触摸屏
安全防护
配置安全光帘和紧急停机按钮
电源电压
单相交流电 220V,16A
压缩空气
5公斤清洁干燥压缩空气,流量100升/分钟
机器外壳
白色喷塑金属外壳
体积
850 毫米(宽)*1450 毫米(深)*1700 毫米(不含灯高)
净重
475公斤
产品优势
应用领域
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