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产品概述
产品特点
High-side测量型栅极氧化膜击穿评价系统。采用主动屏蔽（Active Shield）技术，实现低噪声测量，作为 TDDB 评价方法，可实施以下 7 种测试方式
① 定电压应力法 ② 定电流应力法 ③ 定电压阶梯应力法 ④ 定电流阶梯应力法 ⑤ 电压斜坡法 ⑥ I-V 特性测量 ⑦ 电压突发应力法
High-side测量的必要性：在 TDDB 评价中，需要测量栅极电流（Gate电流)。此外，由于器件本身的结构特性，栅极电极必须连接到加压电源的正极（+侧），这一点构成了测试上的限制条件。在这种条件下对栅极电流进行测量时，必须采用高端（Highside）测量方式，才能实现准确的电流检测。
产品规格
名称 | 通道数 | 测量周期 | 施加电压 | 测量电流范围 |
150V 电路板 | 16 | 10~20msec/ch | 0~150V | 30mA/3mA/300uA/30uA/3uA/300nA |
产品优势
应用领域
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