-
语言版本
产品视频
产品概述
上海衡鹏集团——芯钛科半导体是日本JEL ROBOTS中国总代理，代理的产品包括：晶圆搬运机械手、晶圆校准器等，日本原装进口、一级销售价格，提供上门安装、培训、售后等技术支持。咨询热线：150-2686-5822（微信同号）。
产品特点
JEL晶圆校准器SAL38C3HV特点：
适用于200-300 mm晶圆；
可适用于硅片，带BG胶带（乳白色）的硅片，透明，半透明晶圆等不同材质晶圆的位置校准；
使用自主研发的图像识别传感器，采用了控制器和电机驱动器集成到设备本体内部的一体化设计；
可以根据晶圆尺寸，材质更改Spindle的直径，形状和材质可以使用伯努利吸附方式；
控制方式：串口RS232C或者并口光学I/O口；
不符合SEMI规格的缺口，缺边形状也可以提供定制设计；
能够为Spindle增加Z轴以满足对晶圆进行升降的需求；
晶圆重新拿起的动作对Z轴进行选择设定；
如需详细参数 欢迎您联系我们。
产品规格
产品优势
应用领域
推荐产品
JEL
SAL3482HV
JEL
SAL3262HV
STK
STK-3200
SINTAIKE
STK-8050
常见问题
在线留言
如果您对我们的产品感兴趣，请留下您的电子邮件，免费得到产品报价，谢谢！
OUTLETS
服务网点
香港分公司
HAPOIN ENTERPISE LIMITED
地址：Unit 917A, 9/F.,Tower A,New Mandarin Plaza,No.14 Science Museum R
公司地址
上海市闵行区金都路1165弄南方都市园6号楼
深圳市龙华区大浪街道凯诚高新园B栋3楼302
东京都千代田区岩本町2-3-8 6楼
关注公众号
关注视频号
电话咨询
