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产品概述
产品特点
STK-7050 落地式半自动晶圆切割贴膜机特点：
落地式高级 晶圆切割膜贴膜机；
自动拉膜、贴膜、切膜、收废膜，收隔离纸；
贴膜无气泡，可贴空Ring；
STK-7050 落地式半自动晶圆切割贴膜机性能：
晶圆收益：
≥99.9%；
撕膜质量：
没有气泡（不包括灰尘颗粒气泡）；
每小时产能：
≥ 75片晶圆；
MTBF：
>168小时；
MTTR：
<1小时；
停机时间：
<3%；
更换产品时间：
≤ 10分钟；
如需详细资料，请联系我们。
产品规格
STK-7050 落地式版自动晶圆切割贴膜机规格参数：
晶圆尺寸：
4”- 8”晶圆；
晶圆厚度：
100 ~750微米；
晶圆种类：
硅, 砷化镓或其它材料；
胶膜种类：
蓝膜或者UV膜（粘着力≤8N/20mm）；
宽度：210～300毫米；
长度：100米；
厚度：0.05~0.2毫米；
晶圆承载环：
6”、8”DISCO标准；
贴膜原理：
防静电滚轮贴膜，滚轮压力可调；
晶圆台盘：
通用(一体式)特氟隆防静电涂层接触式台盘；
台盘可加热：室温~100℃；
台盘手动升降；
装卸方式：
晶圆/承载环手动放置与取出；
防静电控制：
防静电特氟隆涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子风扇；
切割系统：
环型切刀用于6”、8”DISCO承载环；
废膜处理：
自动收取；
贴膜精度：
X-Y:±0.5mm；θ:±0.5°；
定位方式：
晶圆气动销定位/承载环弹簧销定位；
控制单元：
基于PLC 控制，带10.1”触摸屏；
安全防护：
配置光帘保护和紧急停机按钮；
电源电压：
单相交流电220V,16A；
压缩空气：
5公斤清洁干燥压缩空气,流量100升/分钟；
机器外壳：
白色喷塑金属外壳；
体积：
850 毫米(宽)*1450 毫米(深)*1700 毫米(不含灯高)；
净重：
460公斤。
产品优势
应用领域
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