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产品概述
产品特点
MBE装置MBE-260概要：
该MBE设备是超高真空装置，可以用从外部引入的激光在真空中激发，并将材料沉积在衬底上；
MBE装置MBE-260规格参数：
Configure；
Spec；
Processing room and vacuum exhaust system；
Chamber Sharp；
φ260mm Spherical SUS；
Reaching vacuum；
Less than6.7×10-7Pa (5×10-9Torr)；
Ceramic bearing；
turbo pump；
250L/s；
Target revolution unit；
φ20mm×6 axes；
Rotation / revolution motor drive (PC control)；
Substrate heating unit；
Infrared lamp substrate heating unit (can be changed to semiconductor；
laser substrate heating unit)；
Size of substrate；
10mm；
Maximum；
heating temperature；
Above 800℃；
Common specification；
Power supply / control rack (JIS standard compliant) integrated chamber frame；
PLD automatic control system (PC and control software).
产品规格
产品优势
应用领域
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