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产品概述
产品特点
静电卡盘产品特点：
用途：光刻工艺， 刻蚀工艺，薄膜沉积工艺，离子注入工艺；
材质：
1.表面陶瓷材料：氮化铝陶瓷，氧化铝陶瓷；
2.电极材料：通常采用金属材料，如铜、铝等，也会镀上一层耐腐蚀、耐高温的金属或合金；
大小：对应用于4 英寸、6 英寸、8 英寸和 12 英寸晶圆。
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