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产品概述
产品特点
落地式晶圆贴膜机 STK-6050 高级半自动晶圆减薄贴膜机特点：
专利设计的柔性滚轮贴膜，自动拉膜，自动贴膜；
弹簧刀自动切割系统，自动切割膜，收废膜；
适用于4” - 8”晶圆，硅片、碳化硅、砷化镓、蓝宝石、玻璃等。
落地式晶圆贴膜机 STK-6050 高级半自动晶圆减薄贴膜机性能：
晶圆收益：
≥99.9%；
贴膜品质：
没有气泡（不包括灰尘颗粒气泡）；
每小时产能：
≥ 75片晶圆;
MTBF:
>168小时;
MTTR:
<1小时;
停机时间:
<3%;
更换产品时间：
≤ 10 分钟。
产品规格
STK-6050 落地式高级自动晶圆减薄贴膜机参数：
晶圆直径：
4”- 8”晶圆；
晶圆厚度：
300～750 微米；
晶圆种类：
硅, 砷化镓或其它材料；
胶膜种类：
蓝膜或者 UV 膜（粘着力≤8N/20mm）；
宽度：120～240毫米；
长度：100米；
厚度：0.05～0.2毫米；
贴膜原理：
防静电滚轮贴膜，滚轮压力可调；
晶圆台盘：
通用(一体式)特氟龙防静电涂层接触式台盘；
台盘可加热：室温~100℃；
台盘手动升降：
装卸方式；
晶圆手动放置与取出；
防静电控制：
防静电特氟龙涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子风扇；
切割系统：
自动切割刀, 8”无切割V notch功能，切割刀可加热：室温~120℃；
切割刀寿命管理：
废膜处理；
自动收取；
贴膜精度：
X-Y:±0.5mm；θ:±0.5；
晶圆定位：
气动销定位；
控制单元：
基于 PLC 控制，10.1”触摸屏；
安全防护：
配置安全光帘和紧急停机开关；
电源电压：
单相交流电 220V,16A；
压缩空气：
压缩空气：5公斤清洁干燥压缩空气,流量100升/分钟；
体积：
850 毫米(宽)*1450 毫米(深)*1700 毫米(不含灯高)；
净重：
450 公斤。
产品优势
应用领域
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