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产品概述
可用于传输100~300mm 晶圆:
适用于8寸、12寸晶圆;
满足ISO Class1洁净等级;
模块化设计,维护成本低;
设备结构紧凑,占地面积小;
设备符合SEMIS2及SEMIF47标准;
可根据客户需求定制开发FA;
可选配Vacuum、Passive、Gripper、Bernouli 机械手EE;
高度定制化,可根据客户需求非标定制。
产品特点
产品规格
产品优势
应用领域
OUTLETS
服务网点
香港分公司
HAPOIN ENTERPISE LIMITED
地址:Unit 917A, 9/F.,Tower A,New Mandarin Plaza,No.14 Science Museum R
电子邮箱
总部地址
上海市闵行区金都路1165弄南方都市园6号楼
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