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产品概述
可用于传输100~300mm 晶圆：
适用于8寸、12寸晶圆；
满足ISO Class1洁净等级；
模块化设计，维护成本低；
设备结构紧凑，占地面积小；
设备符合SEMIS2及SEMIF47标准；
可根据客户需求定制开发FA；
可选配Vacuum、Passive、Gripper、Bernouli 机械手EE；
高度定制化，可根据客户需求非标定制。
产品特点
产品规格
产品优势
应用领域
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